PEEK硅片座具有高硬度、极少的颗粒产生量、高洁净度等特性,此外,PEEK材料还具有卓越的耐化学腐蚀性、耐磨损性、耐水解性、非常优异的电介质强度及出色的耐辐射性能,因此PEEK材料是半导体行业的理想材料。
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